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高解析電子微探儀(EPMA)

  │ 材料組織分析儀器 │  材料性質檢測儀器 │ 材料製程加工設備 │ 

名稱

高解析電子微探儀(EPMA)

分機電話

4072

位置

理工實驗大樓 B 3024 

參與教授

謝克昌;吳欣潔

設備

電子微探儀(EPMA)可以針對金屬材料、電子材料、陶瓷材料、礦物進行微區域之成份定性及定量分析,大區域和高倍率(10,000X 以內)之元素特性X光、二次電子、背向散射電子(BEI)等影像觀察,其測定之精確度比一般EDS高許多,是微區域成份分析很好的工具。

研究方向

儀器設備說明

型  號: JEOL JXA-8900R Electron Probe X-ray Microanalyzer

                JEOL JXA-8530F Field Emission Electron Probe Microanalyzer

主要規格: 加速電壓    1kV~30 kVWDS可偵測範圍5B~92UEDS可偵測範圍5B~92U

服務項目

微區域之定性、定量分析、二次電子SEI(Scanning Electron Image)、背向散射電子COMPO(Composition)影像之觀察。 影像(X-Ray Mapping)、線掃描(Line Scan)

技術人員/學生

高靖惟

圖片

裝飾性圖片      

參考連結

http://khvic.nsysu.edu.tw/khvic/JL/EPMA_20170110.htm