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表面分析(Auger, ESCA)實驗室

 │ 材料組織分析儀器 │  材料性質檢測儀器 │ 材料製程加工設備 │ 

名稱

表面分析(Auger, ESCA)實驗室

分機電話

4083

位置

B3025

參與教授

曾百亨

協同參與教授

謝克昌 / 張六文

設備

歐傑電子能譜儀(Auger Electron Spectroscopy)
Field Emission Gun (0.5~30kV, 1x10-12~2x10-7A)

放大倍率 20~500,000X
二次電子影像解析度: 3 nm (25KV,10pA)
Auger
電子影像解析度: 8 nm (25 KV, 1 nA)
電子能譜儀能量解析能(ΔE/E):0.8%
試片座以5 軸驅動。

X
光光電子能譜儀(X-ray Photoelectron
Spectrometer facility)
Dual anode(Al Kα/Mg Kα)
X-ray source and power supply

研究方向

適用於固態、薄膜、光觸媒材料及奈米材料塗膜、半導體材料、陶瓷、金屬、發光材料、碳纖維、生醫材料等。歐傑電子能譜儀以場發射10-7A電子束激發試片的歐傑電子,具掃描功能,可觀察物體的表面結構、量測尺寸、分析材料之微細組織、界面及缺陷。可提供歐傑電子能譜量測及材料之成份鑑定,金屬材料氧化膜、電鍍膜、陶瓷膜、薄膜等的擴散分析,微區域(如界面、缺陷)之化學成分分析,X 光光電子能譜儀分析表面元素和其化學鍵結,各元素之縱深( depth )曲線分布,能分析不導電的試片,對於各領域材料作表面分析的研究是不可或缺的利器

技術人員/學生

施淑媖

圖片

裝飾性圖片

參考連結