實驗室名稱

FEGTEM 場發射穿透式電子顯微鏡實驗室

分機電話

4073；5254073

位置

B1004

設備

FEGTEM 場發射穿透式電子顯微鏡 FEI E.O Tecnai F20 G2 MAT S-TWIN Field Emission Gun Transmission Electron Microscope (200kV)

附屬配備：

Ÿ   掃描成像控制系統 STEM HAADF Detector

Ÿ   X光成份分析系統 EDS Analysis (EDAX PV 9840/10T)

Ÿ   影像過濾器 GIF / 電子能量損失能譜儀 EELS (Gatan 863)

Ÿ   二組電荷耦合元件成像附件 Multiscan CCD Camera (Gatan 894 2K×2K)

Ÿ   雙傾斜液態氮低溫冷卻試片座 Double Tilt Cooling Holder (Gatan 636.MA)

Ÿ   電漿清洗機 Plasma Cleaner (E.A.Fischione 1020)

研究方向

適用於固體奈米材料、半導體電子材料、陶瓷礦物材料、金屬材料、生醫材料、高分子材料等。以場發射200kV高能量電子穿透試片，具穿透及掃描功能，可觀察物體之形貌、量測尺寸、分析材料內部之微細組織、缺陷及晶體結構。可提供原子序對比影像及HR高解像分析，CBED及Microdiffraction微束繞射分析，EDS微區域化學成份分析、化學元素Mapping與Line Profile分析，EELS電子能量損失能譜分析輕元素化學成份、Mapping分佈及原子鍵結組態分析。可作高角度多方位繞射分析及高品質之明、暗視野影像。兼具解析及高解像顯微多重功能，是微觀世界中研究分析材料不可或缺的利器。

技術人員/學生

王良珠技師

圖片

連結網址

http://khvic.nsysu.edu.tw/khvic/JL/52.htm

負責教授

沈博彥

參與教授

張六文 / 張志溥