名稱

高解析電子微探儀(EPMA)

分機電話

4072

位置

理工實驗大樓 B棟 3024 室

參與教授

謝克昌;吳欣潔

設備

電子微探儀(EPMA)可以針對金屬材料、電子材料、陶瓷材料、礦物進行微區域之成份定性及定量分析，大區域和高倍率(10,000X 以內)之元素特性Ｘ光、二次電子、背向散射電子(BEI)等影像觀察，其測定之精確度比一般EDS高許多，是微區域成份分析很好的工具。

研究方向

儀器設備說明

型　　號： JEOL JXA-8900R Electron Probe X-ray Microanalyzer

                JEOL JXA-8530F Field Emission Electron Probe Microanalyzer

主要規格： 加速電壓    1kV~30 kV，WDS可偵測範圍⁵B~⁹²U，EDS可偵測範圍⁵B~⁹²U。

服務項目

微區域之定性、定量分析、二次電子SEI(Scanning Electron Image)、背向散射電子COMPO(Composition)影像之觀察。 影像(X-Ray Mapping)、線掃描(Line Scan)。

技術人員/學生

高靖惟

圖片

參考連結

http://khvic.nsysu.edu.tw/khvic/JL/EPMA_20170110.htm