名稱

超臨界流體實驗室

分機電話

07-5252000轉4055

位置

B2020

參與教授

蔡宗鳴

設備

1.多功能超臨界流體反應系統
2.電性量測平台
3.真空型遠紅外線傅立葉光譜儀
4.原子層化學氣相沉積

研究方向

高效能電阻式記憶體
超臨界薄膜改質與奈米結構成長
原子層沉積薄膜成長

技術人員/學生

張冠張 朱天健

圖片

參考連結